Reinraumlabor - Willkommen am saubersten Ort der Universität
Für Arbeiten und Versuche, die eine partikelfreie Umgebung benötigen, betreibt die Hochschule ein Reinraumlabor, das für Lehre und Forschung genutzt wird. Das Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der TU Bergakademie Freiberg befindet sich in einem Seitenflügel des Gellertbaus, in dem die Physikalischen Institute untergebracht sind.
Ausstattung
Zur Fertigung mikroelektronischer Bauteile stehen zahlreiche Technologien zur Verfügung.
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TUBAF
Abscheideverfahren
chemische und physikalische Abscheidung, Atomlagenabscheidung
